第301章 研发中的第四代光刻机

而一台CT设备的售价，高达上千万元，仅仅华夏地区，就有上万套CT设备，全部来自进口，你猜这些年来，霓虹医疗器械巨头，从华夏赚走了多少钱？

再说，你买了一台CT机并不算完，配套软件，设备检修，各种耗材，也是要花钱从霓虹人手里买。

总而言之，佳能和尼康是极其厉害的企业，光学领域扛鼎的存在，却依然惨败给荷兰ASML，足以看出这个行业的门槛不是高，而是高到了天上。

荷兰ASML也不是什么无名小卒，它们的前身是大名鼎鼎的飞利浦光学，他们用的物镜，来自全球镜片领域第一大牛，德国卡尔.蔡司。

可以说，集合整个欧洲，再加上一部分北美的力量，才搞出了ASML这个怪物。

在过去，ASML是没有对手的，直到星辰科技出现。

罗佳异想天开，决定弯道超车，绕过由紫外光，深紫外光，极紫外光组成的前三代核心技术，直接进入光刻机的第四代，超紫外混合激光，这其中的难度，外行人是永远无法明白的。

唰~

温成岭正思考着，实验室的密封门忽然在他面前打开了。

他笑了笑，在进入实验室之前对罗佳认真的说道：“罗总，我的专业是激光，也自信能够搞定光刻机的光源问题，但您应该也知道，一台光刻机仅仅有光源是不够的，其他数以千计的核心零部件，我可就无能为力了。”

这算是给罗佳打预防针了，他说这话的意思是，我能帮你把超紫外混合激光搞出来，但激光之外的事情，我也是无能为力，还要看星辰科技自己的力量。

罗佳只是点头笑了笑，并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前，罗佳淡淡的说，“这就是我们的初代机，它共分为十三大结构，分别是激光发生器，光束矫正器，能量控制器，光束形状调整器，遮光器，能量探测器，掩膜版，掩膜台，物镜，测量台，曝光台，封闭框架，磁悬浮减震。”

罗佳指着机器，介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单，但就算用脚后跟想也能明白，作为半导体行业的王冠，又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说，如果你以为那是一个类似单反镜头东西，那就完全错了。

ASML公司EUV型光刻机采用的物镜，高达一米八四，宽度接近七十公分，是德国光学巨头卡尔.蔡司集团，与激光巨头亚琛集团联合制造的。

物镜多少钱？

抱歉，无论罗佳掏多少钱，都买不到这套物镜。

从成本的角度估算，这套物镜的成本应该在一千万美元左右，其复杂程度和精确程度，足以被写入光学发展史。

罗佳给温成岭看的，就是这么个东西，它巨大而精密，充满科幻电影般的未来感。

而且ASML的EUV是第三代，罗佳这个是第四代，超紫外光，技术复杂程度还要更高。

“你们...竟然已经做到了这种程度！？”温成岭激动的瞪大眼睛，发出不可思议的声音。

刚才距离远，又隔着玻璃，所以没太看清楚，还以为是个样子货。

如今走进无尘实验室里，温成岭才恍然发觉，这台四代光刻机的完成度，已经如此之高！